為什么拋光墊開槽了拋光效率沒有明顯提升？
您好，拋光墊溝槽的寬度有一個合理的值，如果拋光墊上開的溝槽寬度過小，不能有效改善拋光液的輸送和儲存，對拋光效率提高很?。蝗绻麙伖鈮|上開的溝槽寬度過大，拋光效率反而減小，拋光后襯底片表面粗糙度也會變大。
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